低温plasma与高温plasma怎么区分？

低温plasma与高温plasma的区别在于离子的温度和离子通道。低温等离子体电子运动温度高达10~10K，而气体的离子和中性离子温度接近环境温度，远低于电子运动温度。因此低温等离子体又被称为非平衡等离子体。常温常压下即可产生低温等离子体，其工业应用前景广阔。

测试数据显示，电源参数对STC一次转换率影响较大，一定范围内电源频率越低，电压越高，越有利于氯硅烷氢化反应进行。电源频通过DBD放电方式产生低温plasma发生器安全可靠、经济环保且易于实现。在四氯化硅氢化反应中的促进效果，常温常压条件下采用plasma辅助，即可实现5%以上的STC一次转化效率。

plasma包含大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子激发态分子和活性分子等，为化学反应提供极活泼的活性粒子，使得许多通常不能发生或者需要极其苛刻的条件才能发生的化学反应，在接近室温条件下变得容易进行，为化学反应提供了新的实现方法。对于多晶硅化工行业，从能耗控制、效率提升等方面考虑氢化、气相沉积等工序，运用plasma促进反应进程具有重大的实用价值和科学研究价值。